七星电子北方微电子亮相国家“十二五”科技成就展

  6月1日至7日,国家“十二五”科技创新成就展在北京展览馆隆重举行,党和国家领导人习近平、李克强、张德江、俞正声、刘云山、王岐山等分别参观了这次展览。北京电控旗下的七星电子、北方微电子在此精彩亮相,展示了电控企业“十二五”为我国高端集成电路装备产业发展作出的重要贡献。
  此次成就展以“创新驱动发展,科技引领未来”为主题,共分为七个组成部分,其中“国家科技重大专项”作为第二部分的第一单元参展,向全国人民展示了科技专项五年以来攻克的一批关键技术,研制的一批高端装备,推出的一批重要产品以及培育的一批具有国际竞争力的国内企业。
  七星电子、北方微电子均为“02专项”的重点承担企业。七星电子先后承担了多项12吋集成电路工艺设备开发,涵盖90-14纳米技术代,研制产品包括立式氧化炉、LPCVD(低压化学气相沉积)、铜互连单片清洗机、气体质量流量控制器等。通过持续攻坚克难,七星电子 “02专项”项目在“十二五”期间取得累累硕果。12吋立式氧化炉采用了先进的MBTC控温模型技术,大大提高了控温精度、最大限度地降低了热预算,完成了集成电路大生产线验证,实现了对国内主流集成电路芯片企业中芯国际、上海华力、武汉新芯等销售,受到用户的广泛认可。12吋铜互连单片清洗设备采用了先进的兆声波清洗技术,使颗粒去除效率最高可达99%,产品已经完成大生产线验证,实现了对中芯国际供货。12吋LPCVD设备、12吋高温炉设备、12吋硅材料清洗设备均在国内产线实现应用。质量流量控制器也完成用户验证,部分核心技术上达到国际先进水平,产品已批量供应中芯国际、上海华力等集成电路生产线及上海中微、北方微电子等集成电路高端设备制造商。“十二五”期间,七星电子立式炉和清洗设备在集成电路生产线实现配套12台,其技术延伸应用于泛半导体产业,实现销售500台以上。气体质量流量控制器实现半导体领域销售逾万台,出口美国3000台以上。
  北方微电子先后承担了12吋刻蚀机、PVD(物理气相沉积)设备的开发,涵盖100-14纳米技术代,产品已经在国内集成电路生产线实现配套应用。本次展览中,北方微电子重点展出了适用40nm至14nm技术代的金属薄膜沉积设备,作为国产高端集成电路设备的成果代表,该产品已顺利通过了中国最大集成电路工厂中芯国际的产品验证并成为28纳米生产线国产高端装备中的首台Baseline设备。目前北方微电子金属薄膜沉积全系列产品已形成对集成电路、先进封装、LED照明等领域安装应用超过120台套。获得了包括中芯国际、上海华力、武汉新芯以及台湾几大主流集成电路大客户的广泛认可和信任。同时,北方微电子的HM PVD展品吸引了科技部部长万钢及中办领导的关注,并对公司在高端集成电路装备领域所取得的成果表示肯定。
  “十二五”时期,国家科技重大专项进展顺利,形成了高水平的创新平台和产业化基地,培养和凝聚了来自海内外的高素质人才队伍,提升了企业和国家的创新能力,为我国战略必争领域突破重大核心技术、开辟新的产业发展方向、培育新的经济增长点提供了有力支撑,为建设创新型国家和全面建成小康社会做出了积极贡献。